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氫氣發生器目前已大量應用在以上工藝中

更新時間:2020-11-25點擊次數:1391
   氫氣發生器儀器特點:
 
  1. 壓力、流量自動顯示,自動恒壓、恒流,氫氣流量可根據用量實現全自動調節。
 
  2. 雙支不銹鋼過濾器,內有微量氧脫除劑(不需活化),氫氣純度更高;儀器內部采用硅橡膠圈(含硫量低),有效提高氣體質量,保證色譜基線平穩。
 
  3. 提供高、低壓兩種工作模式,可靈活運用在不同狀態。
 
  4. 配有安全裝置,靈敏可靠,自動防返堿。
 
  氫氣發生器可以連續可靠的產生純度*的氫氣,純度>99.9999%。從而使昂貴且危險的高壓氫氣鋼瓶*告別實驗室,整個過程只需去離子水和供電,即可產生氫氣,一次加水即可持續工作15天,成本低。氫氣發生器的安全、簡便性能使其替代了危險的高壓氫氣鋼瓶。氫氣根據需要適時適量產生,保持氫氣儲存體積和安全性。
 
  氫氣也可以應用在化學氣相沉積(ChemicalVaporDepositon)薄膜生長。化學氣相沉積是一種利用固態-氣態反應、氣態-氣態反應生成薄膜的設備,如在CVD工藝中作為還原性氣體制備二維材料MOS2、WS2等;等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝中作為還原性氣體制備石墨烯、單晶硅、碳化硅等;電子回旋共振化學氣相沉積(ECR-CVD)中作為反應氣體在單晶硅襯底上制備金剛石薄膜;金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設備中作為載氣制備光電材料GaN、AlGaN等。同時氫氣也可以在原子層沉積(AtomicLayerDeposition)中使用。氫氣發生器目前已大量應用在以上工藝中,為半導體材料及器件制備提供好的氣源。
 
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